所谓臭氧脱硝原理是将不溶于水的低价氮氧化不溶于水的低价氮氧化合物氧化成可溶的高价氮氧化物，然后在喷淋洗涤塔中被碱性溶液吸收，达到去除的目的。
低温烟气脱硝技术以低温催化氧化技术zui为简单有效，由于烟气中的氮氧化物主要由NO(占95)组成，NO不溶于水，与臭氧接触后发生反应，可形成NO2.NO3.N2O5等高价氮氧化物，这些高价氮氧化物可溶于水，产生HNO2和HNO3，溶解能力大大提高，通过碱性溶液喷洒(如Ca(OH)2。
将烟气中的NO转化为高价，需要引入强氧化剂。在众多氧化剂中，臭氧是zui环保清洁的强氧化剂。O3的生存周期相对较长。电离后产生少量氧气或空气，然后，可显著降低能耗。
主要包括以下反应：
NO+O3→NO2+O2(1)
NO2+O3→NO3+O2(2)
NO2+NO2→N2O4(3)
N2O4+O3→N2O5(4)
NO3+NO2→N2O5(5)
3NO2+H2O→2HNO3+NO(6)
2HNO3(7)N2O5+H2O→
臭氧脱硝利用臭氧将NO氧化成高价氮氧化物后，需要进一步吸收。常见的吸收液有Ca(OH)2.NaOH等碱液。NO的去除效率可达86.27%~92%。
