臭氧会分解成氧气，无残留污染，消毒后不通风。常规消毒需要通风或化学中和，比较麻烦，降低了消毒效果。臭氧可直接用于食品杀菌或防霉保鲜，干法消毒，简单易行。食品的臭氧杀菌浓度是非常微弱的氧化浓度，对食品无害。 1904年，国外就有利用臭氧保存牛奶、肉制品、奶酪、蛋白质等食品的报道。 1909年，法国depinet冷冻厂正式使用臭氧对冷冻肉表面进行消毒。二战后，欧洲国家开发了臭氧发生器，用于远洋运输食品冷藏的杀菌、防霉和保鲜。到八十年代中期，包括我国在内，食品舱都装有臭氧设备，已推广到食品容器、食品冷藏车。 臭氧具有杀菌力强、无二次污染等优点。广泛应用于发达国家的食品工业、制药工业、饮料生产、日化工业、远洋运输和餐饮业。臭氧在我国的应用始于1990年代初，经历了10多年的过程，正在不断成熟和完善。
2、优于紫外线 (1)臭氧无处不在，无死角。紫外线只照射物体表面，达到一定的照射强度标准才具有杀菌作用。食品车间一般比较高，导致紫外线照射强度远远不够，尤其是距离较远，照射产生较大死角，如加工板下部。臭氧是一种渗透性强、扩散性好、浓度均匀、无死角的气体。 (2)快速杀菌。紫外线照射杀菌需要的时间较长，一般6小时以上才能照射，而臭氧按照标准浓度1小时以上； (3)在高湿度下杀菌效果更佳。紫外线照射杀菌在环境相对湿度达到60%以上时，消毒效果急剧下降，湿度达到80%以上可诱发细菌的复活。臭氧，反之，湿度越高，杀菌效果越好。这是因为细胞膜在高湿度下膨胀变薄，其组织容易被臭氧破坏。这一特性特别适用于食品行业普遍存在的高湿环境。 (4) 具有低浓度清洗功能。生产人员在进行紫外线照射后必须离开现场，不能在照射后使用低功率紫外线进行清洁。生产人员在臭氧消毒期间必须离开现场。消毒后可减少臭氧量，保持生产车间空气清洁，采用符合国家卫生标准的低浓度臭氧。 3、除臭净化效果非常好臭氧依靠其强大的氧化性能能迅速分解异味和其他异味的有机或无机物质，达到除臭效果，将异味源物质分解为无害物质。例如，氨氧化成二氧化碳和水。
